ビーム

ビームは海外の優れたレーザー発振器、レーザー微細加工装置、露光装置、分光器など様々な製品を輸入販売しています。

ビームの特徴

レーザー加工機を輸入販売

ビームは海外の優れたレーザー発振器、レーザー微細加工装置、露光装置、分光器など様々な製品を輸入販売しています。その種類は、レーザー発振器、レーザー微細加工装置、露光装置、レーザー精密切断・精密溶接装置など多岐にわたります。

ビームの取り扱う
レーザー加工機の例

Echo 360

小型エキシマレーザーを搭載した卓上型ワイヤーストリッパーです。芯線にダメージを与えずに、極細ワイヤーの絶縁体を除去します。テフロンなどの熱耐性のある樹脂やエラストマーなども熱影響のない、シャープなエッジで除去。リールtoリール、XYステージなど加工用途に合わせて、カスタマイズ可能です。

対応する内容

• 切断
• 溶接

製品スペック

スペック
ArF	波長193nm、出力1.2〜6W、6mJ、200Hz〜1kHz
KrF	波長248nm、出力2〜16W、10〜16mJ、200Hz〜1kHz
加工サイズ	最小＜5μm
投影倍率	5〜10倍、固定
レンズ解像度	1.5μm
小型エキシマレーザー発振器	193nm/248nm

LBD

LBDは、高速レーザーリフトオフ（LLO）用に最適化された装置です。 この装置は、柔軟なワークステーションとホモジェナイザーと連動したレーザーを組み合わせて、高スループットの生産用ラインビームを作成します。ビームの長さは調整可能で、用途に応じて自動的に切り替えられます。 オートメーション化は、オートプリアライメント、ロボティクス、マシンビジョンを含むカセットまたはウェハローディングのオプションとして提供できます。

対応する内容

• 切断
• 溶接

製品スペック

スペック
レーザー波長	308nm (オプション 248nm)
ラインビーム長	＜45mm
最大エネルギー密度	600mJ/cm2
エネルギー密度	50〜600mJ/cm2
繰り返し周波数	最大200Hz
ラインビーム長	22 もしくは 45mm、75mm(オプション)
ラインビーム	1 もしくは 1.2mm
焦点深度	>0.5mm
焦点範囲	>25mm
アッテネーション範囲	>5-100%
ワークエリア	>200x200mm
駆動範囲	>450x300mm
位置決め精度	>1µm
繰り返し精度	><2µm
絶対精度	><2µm (DMC校正)

Promaster

ProMasterは、R＆D分野での使用を目的とした低スループットで手頃な価格のエントリーモデルの卓上型エキシマレーザー加工装置です。ProMasterは、深紫外波長（193nm、248nm、308nm）で短いパルス幅（〜6ns）の高いピークパワーを備えたコンパクトなエキシマレーザーを搭載しています。レーザーエネルギーを効率的に加工対象を伝える事により、精密切断が可能になり、熱影響、デブリを最小限に抑えながら、ミクロンスケールまで正確に微細加工できます。

対応する内容

• 切断
• 溶接

製品スペック

スペック
XY 駆動範囲	100x100mm
分解能	1μm
固定倍率	10倍
最大エネルギー密度	5J/cm2
波長	193nm もしくは 248nm
エネルギー密度	0.05〜5J/cm2
繰り返し周波数	200Hz
加工サイズ	>5µ〜250µm
分解能	><1.5µm
焦点範囲	>20mm
DMG比率	>10X
アッテネーション範囲	>2〜100%
駆動範囲	>100x100mm
位置決め精度	>1µm
繰り返し精度	>2µm
絶対精度	><2µm (DMC校正)

ビームの
サポート・保証

ビームでは試作加工を行うための社内ラボを設け、レーザー加工機の導入を検討されるお客様に向けた試作加工を行っています。

社内ラボでは、エキシマレーザー(193nm, 248nm, 308nm)、TEA-CO2パルスレーザー、ピコ秒パルスレーザー、ナノ秒パルスレーザーを用いたテスト加工に対応しています。

加工方法はパターニング、穴あけ、彫刻、ワイヤ、LLO、fsec UVの6パターンですが、その他のレーザー加工方法についても相談可能です。

導入を検討しているレーザー加工機の加工精度をしっかり確かめられるので、ぜひ相談してみてはいかがでしょうか。

ビームの
加工事例・実績

ナノ秒パルスレーザー
BXシリーズの加工事例

ビームのレーザー加工機の一種である、ナノ秒パルスレーザーBXシリーズを使用した加工事例です。

金属に小さく細かい穴を開けたり、精密な形に切り取ったりする加工が施されています。

ガラス素材の加工事例では、直線や曲線に切断する加工も行っていました。

その他、サファイア、セラミックス、炭素繊維（CFRP）などの切断や加工も対応可能です。

参照元：ビーム公式サイト（https://www.beams-inc.jp/seihin/maker/edgewave/bx-series/）

ビームのメーカー情報

相談受付時間	記載なし
所在地	東京都町田市小山ヶ丘2-2-5
取扱い製品一覧	CBC GreenLaser 大出力ダイナミックビームレーザー OPA 大出力シングルモードファイバーレーザー SM 全偏波保持ファイバー構成フェムト秒ファイバーレーザーシステム FLS100H └FLS100 └FLS100H Er:Glass レーザー └OT-15 └OT-16 └OT-25 └OT-03 └OT-31 └OT-32 └OT-20 └OT-40 └OT-29 └OT-39 └OT-17 └OT-27 └OT-37 └OT-33 └OT-34 小型エキシマレーザー MLI シリーズ └モデル 200 └モデル 500 └モデル 1000 └生産用モデル(水冷) 500LC └生産用モデル(水冷) 1000LC └ハイパワーモデル(水冷) HP-200LC └ハイパワーモデル(水冷) HP-500LC └ハイパワーモデル(水冷) HP-1000LC 中型エキシマレーザー IPEX-700 シリーズ └193nm ArF └248nm KrF └308 XeCl └351 XeF 大型エキシマレーザー IPEX-800 シリーズ └193nm(ArF) └248nm(KrF) └308(XeCl) └351(XeF) ナノ秒パルスレーザー BX シリーズ └BXxx-1 └BXxx-2 └BXxx-3 └BXxx-4 ナノ秒パルスレーザー IS シリーズ └ISxxx-1 └ISxxx-2 └ISxxx-3 └ISxxx-4 ピコ秒パルスレーザー PX 低価格 パルスレーザー SX シリーズ └フェムト秒SXf └ピコ秒SXp └ナノ秒SXn ナノ秒パルスレーザー GX シリーズ └GXxxx-1 └GXxxx-2 └GXxxx-3 └GXxxx-4 フェムト秒パルスレーザー FX シリーズ └FXxxx-1 └FXxxx-2 └FXxxx-3 Stabiλaser1542 産業用TEA-CO² レーザー Impact 2000 シリーズ └2012 └2015 └2030 └2150 └2500 高電子工業 TEA-CO²レーザー インパクト3000ラ └3100 └3125 └3150 └3100HP └3125HP └3150HP └3400 9.2～10.8μm波長選択可能 Impact 4000 シリーズ └4012 └4015 └4150 レーザーナノファクトリー CR-200 MicroMaster Echo 360 LBD Dual Beam Wire-Stripper Lightbench LTT Promaster WS Turret WS Flex WS-300 Lightshot UV Kub 2 UV Kub 3 Dilase 250 Dilase 650 Dilase シリーズ └Dilase 250 └Dilase 650 └Dilase 750 Dilase 750 Dilase 3D CR-200 MicroMaster Echo 360 LBD Dual Beam Wire-Stripper Lightbench LTT Promaster WS Turret WS Flex Microcut Stent UKP PCシリーズ └PCD-1000 └PCM-1000 └PCR-1000 └PCD-1100 NOVA（ノヴァ）800i NOVA（ノヴァ）ペガサス NOVA（ノヴァ）デリーラー └ノヴァUDR └ノヴァ動力 SIENNA（シエナ）200 シリーズ └SIENNA210S └SIENNA210D SIENNA（シエナ）300 シリーズ └SIENNA 850 └SIENNA 830SR └SIENNA 800 FMWS └SIENNA 800 Duo SIENNA（シエナ）530 SIENNA（シエナ）700 エナメル線剥離装置 SIENNA（シエナ）800 シリーズ └SIENNA 850 └SIENNA 830SR └SIENNA 800 FMWS └SIENNA 800 Duo CAPRIS（カプリス）CMS2 BLRT Automatic Bond, Loop and Joint Resistance Tester HyperFine Spectrometer(ハイパーファイン分光器) └HF シリーズ └HN シリーズ Brillouin Hyperfine Spectrometer(ブリルアンハイパーファイン) └HF-8999-532-AUTO └HF-8999-660-AUTO └HF-8999-780-AUTO Hornet Spectrometer(ホーネット) Ultrabright Spectrometer(ウルトララマン) ULTRA OSA エタロン VIPAS TSST社製PLD テーブルトップEUV
対応業務	レーザーおよびレーザー加工装置の輸入販売・保守