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エキシマレーザー

レーザー加工に使用する器具は、用途に応じて色々な種類のものがあります。 こちらでは、近年では医療用としても使用されることもある「エキシマレーザー」について、特徴や種類を詳しく解説していきます。

エキシマレーザーとは

鋭利で微細な加工が可能

エキシマレーザーは、Excited Dimer Laserの略称で、希ガスとハロゲンガスの混合ガスを媒質とし、主としてパルス放電を用いて励起されるガスレーザです。
特性は、熱を発生しない紫外線領域のレーザーを得られることです。そのため、熱を発するCO2レーザーや赤外線レーザーより鋭利で微細な加工ができます。

装置を小型にできる

エキシマレーザーは、他のガスレーザーより比較的、装置を小型にできるため、高度な解像度が必要な半導体の光源にも適しています。
工業だけでなく、医療の分野でも応用されているのが特徴です。

エキシマレーザーの種類

など

エキシマレーザーの用途

工業用としては、半導体露光用や液晶パネルのアニーリング工程の中の分子改変、インクジェット式プリンターの穴開け工程など極小ラベリングなどに採用されています。 医療用としては、主に眼球の研磨・矯正を施し、近視や乱視の治療に応用されています。その他、血管の血栓除去、皮膚表面のシミ取りにも利用できるよう研究されています。

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